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動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀的維護(hù)要點(diǎn)

更新時(shí)間:2025-04-15      點(diǎn)擊次數(shù):717
  (一)動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀正確使用
 
  確保氣體輸入質(zhì)量:使用干燥、潔凈、無雜質(zhì)的氣體,避免顆粒物或水分進(jìn)入儀器,影響流量控制器(MFC)精度。對氣體進(jìn)行預(yù)處理,如使用過濾器或干燥劑,去除微小雜質(zhì)。
 
  設(shè)定合理的稀釋比與流量:依據(jù)實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)需求,設(shè)置合適的稀釋比(最高1000:1),確保濃度匹配目標(biāo)值。在使用前檢查MFC滿量程精度(±0.2% FS),避免超出量程導(dǎo)致誤差。
 
  預(yù)熱與校準(zhǔn):儀器啟動(dòng)時(shí)無需長時(shí)間預(yù)熱(<1秒),但建議在穩(wěn)定工作狀態(tài)下進(jìn)行測量,以保證數(shù)據(jù)一致性。定期校準(zhǔn)流量控制器(MFC),校正測量偏差,確保讀數(shù)精度(±0.8% Rdg)。
 
  使用正確的控制方式:通過屏幕操作或RS - 485 Modbus RTU通信控制儀器,避免頻繁手動(dòng)調(diào)整,減少誤操作的可能性。調(diào)整PID控制參數(shù),優(yōu)化MFC響應(yīng)速度(典型值<100ms),提高動(dòng)態(tài)性能。
 
  (二)日常維護(hù)
 
  定期清潔儀器:使用干燥、無腐蝕性的布清潔外殼,防止灰塵進(jìn)入儀器內(nèi)部。定期檢查氣路接口,確保無泄漏、無堵塞。
 
  檢查MFC狀態(tài):避免超過最大耐壓(1MPa),防止MFC損壞。監(jiān)測流量數(shù)據(jù),若出現(xiàn)異常(如流量波動(dòng)大),可能需要重新校準(zhǔn)或更換MFC。
 
  維護(hù)電磁比例閥:電磁比例閥是確保流量控制穩(wěn)定性的關(guān)鍵部件,其使用壽命長,但仍需定期檢查。避免長時(shí)間處于極端環(huán)境(如高溫、高濕)運(yùn)行,以延長使用壽命。
 
  監(jiān)測溫度補(bǔ)償功能:儀器具備溫度補(bǔ)償功能(0 - 50℃),確保不同環(huán)境下的測量穩(wěn)定性。若在溫度變化較大的環(huán)境使用,應(yīng)關(guān)注數(shù)據(jù)是否出現(xiàn)偏差,并適當(dāng)調(diào)整補(bǔ)償參數(shù)。
 
  (三)動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀延長儀器壽命
 
  避免超負(fù)荷運(yùn)行:按照技術(shù)參數(shù)使用儀器,避免長時(shí)間高負(fù)荷工作。
 
  保持氣體潔凈:使用高純度氣體,減少顆粒物污染。
 
  定期維護(hù)與校準(zhǔn):依據(jù)廠家建議,進(jìn)行年度校準(zhǔn),確保測量精度。
 
  存儲(chǔ)環(huán)境適宜:長期不用時(shí),存儲(chǔ)溫度應(yīng)控制在 - 40 - 85℃,避免潮濕環(huán)境影響電子元件。
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